kashiyama MU系列 真空泵购买,联系电话021-61552797
·在蚀刻等中等负载工艺中实现低功耗表现
·占地面积较同类 20,000L/min 泵缩小约 35%
·增强工艺耐久性并提高能源效率
·符合各种标准的规范产品规格
·升级的工艺耐久性与节能性能
kashiyama MU系列 产品规格
型号
MUP600E
MUP1200E
MUP1800E
MUH3000
最大排气速度(l/min)
10000
19000
30000
极限压力(Pa)
电源(50/60Hz)
3P AC200-220V
功率(kW)
0.8
0.95
1.6
冷却水量/N2量
2l/min
氮气吹扫
0-45
0-60
外形尺(LWH)mm
695×285×655
850x380x950
910X420X900