| 项目/模型 | SDE60N20 |
| 泵组成 | SDE200+MSB6004 |
| *1 最大泵速50/60Hz[L/min] | 100,000 |
| *1 极限压力[Pa] | 0.5 |
| 最大入口压力[Pa] | 大气压力 |
| Flange Dia. | 进 | NW200 |
| 出 | NW40 |
| 冷却水 | 最大压力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
必要最小值 (入口-出口) | 0.3 MPa |
| 流量体积 | 4 to 8 L/min |
| 温度 | 10至25摄氏度 |
| Flange Dia | RC 3/8“(带耦合器) |
| *2 氮 | 供应压力 | 0.1 |
规则压力 | 0.1 |
流量体积 | 0 |
| Flange Dia | Pipe fitting 1/4” |
| 导管 | 压强 | 大气压 |
流 | 0.5 |
| Flange Dia | 100 |
电动力 | 进入动力 | 3PH *3 允许电压变化土 |
电容量 | 14.0 |
连接器 | Han®100A Module male 09 14 002 2651 HARTING |
| 控制 | 最大负载电流 | 1 A/ point |
| 连接器 | DB-25PF-N Japan Aviation Electronics Ind,Ltd. |
| 润滑油 | 类型 | Fluorine oil |
| 体积 [L] | DP:0.7 /MB:0.6 |
| Approx. Weight lkg] | 760 |
*1） 在没有吹扫气体的情况下。
*2） 抽真空腐蚀性气体等时需要氮气。
该图为密封和稀释所需的总吹扫体积。
*3） 电压的最大允许波动，而不是正常电压的范围。
