KASHIYAMA MU180X/MU180XN 真空泵
| 项目/模型 | MU180X | MU180XN |
| 泵组成 | MU180X | w/ Regulator | w/o Regulator |
| *1 最大泵速50/60Hz[L/min] | 3000 |
| *1 极限压力[Pa] | 1.5 |
| 最大入口压力[Pa] | 大气压力 |
| 最大允许排气压力 | 3 or less |
| 电机额定输出 | 2.2 |
| 加速时间 | 大约20 |
| 减速时间 | 大约5 |
| Flange Dia. | 进 | NW160 |
| 出 | NW40 |
| 冷却水 | 最大压力 | 0.5 MPa (Gauge Pressure) |
必要最小值 (入口-出口) | 0.2 MPa |
| 流量体积 | 2 to 3 L/min |
| 温度 | 10至25摄氏度 |
| Flange Dia | RC 1/4“(带耦合器) |
| *2 氮 | 供应压力 | / | 0.04 to 0.07 MPa (表压) | 0.1至0.7 MPa(表压) |
规则压力 | / | / | 0.04 to 0.07 MPa (表压) |
流量体积 | / | 5SLM
[设置为0.05MPa（表压）时] |
| Flange Dia | Pipe fitting 1/4” |
电动力 | 进入动力 | 3PH，200~220 V，50/60 Hz *3 允许电压变化土10% |
电容量 | 4.5千伏安 |
| 运行电流 | 2.0 to 13.0 A |
连接器 | Approx. 2mA |
| 润滑油 | 类型 | 氟油 |
| 体积 [L] | 0.1 |
| Approx. Weight [kg] | 95 |
*1） 在没有吹扫气体的情况下。
*2） 抽真空腐蚀性气体等时需要氮气。
该图为密封和稀释所需的总吹扫体积。
*3） 电压的最大允许波动，而不是正常电压的范围。
