苛刻工艺的标准型
1.可达到200kL/min.
2.最适合大尺寸晶圆和FPD使用。
3.经得起各种工艺的考验
*1) 也可提供小于20000L/min的小型泵
*2) 包装尺寸因规格而异
*3) 关于国际标准的遵守情况，请联系我们产品规格和名称如有变更，恕不另行通知
