1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
型号
SDL12E50/60
SDL20E60
SDL36E60
最大排气速度 [L/min] *1
25,000
40,000
60,000
极限真空度 [Pa] *1
0.8
电源电压 (50/60Hz)
3Phase AC200～220V, 380～480V
尺寸 [mm] L×W×H
1020×520×1050
1370×850×1295
重量 [kg]
645
800
920
*1) 氮气吹扫不工作状态下
