干式真空泵是指是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

它主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段，如日本KASHIYAMA工业的产品在先进的高科技产业上已获得了顾客们的信赖，尤其是干式真空泵系列在真空技术中是最顶尖的，大大提高了产品的性能和质量。

KASHIYAMA真空泵系列产品：NeoDry30E、NeoDry7E、NeoDry15E、NeoDry36E、NeoDry300E、NeoDry100E。如需了解更多KASHIYAMA真空泵相关资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司。

一、干式真空泵原理

它的吸气和排气原理和大多数是一样的，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。在运行过程中不产生油烟，不会污染环境！

由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点，它是油封式真空泵的更新换代产品。是节能、省本的绿色解决方案！

二、干式真空泵的冷却方式

目前市面上的干泵多用腔体中间夹套冷却水或者泵壁外侧安装冷却水铜排对和腔体转子进行冷却。而有的立式螺杆真空泵的冷却系统更独特，比如在泵内增加了螺杆内部冷却剂冷却及直接气体冷却，很好的维持内表面的温度，不至于温度过高或过低，始终维持在一个合适的温度，以防被抽的热敏性物质分解，及高温易聚合的物质

三、干式真空泵的优点

1. 结构简单、操作容易

无油真空泵的结构简单而且体积小巧，易于安装，移动起来也方便，尤其在要求较高的实验室使用更显优势。

2.维护简单

无油真空泵和需要油润滑的真空泵想必，经常性的维护和保养可以大大减少，不必为缺少真空油而烦恼，也因此减少维修带来的不便。

3.清洁无污染

无油真空泵在运行过程中不产生油烟，不会污染环境。

4.广泛应用

1、自动包装线上的真空吸拉列开袋、装料。

2、印刷机械上的纸张真空吸送。

3、各种液体注入瓶内的高效率真空灌装。

4、各种塑料制品的真空吸塑成形。

5、物体表面在真空状态下的气密性试验。

6、纸箱及瓶类物品的标鉴真空吸送粘贴。

7、真空吸引固定下的照相制版。

8、真空状态下的利用压力差引导气体分析。

9、各种医药机械自动线上的配套使用。

10、加工上的非磁性零件夹用的真空吸盘夹具。

11、各种容器在真空状态下的检漏试验。

12、食品加工机械上的应用。

13、中西药厂真空蒸馏干燥。

14、医院手术室的真空吸引。

15、院校、研究所、厂矿实验室气体分析，理化实验。

16、各种医疗仪器的配套使用等。

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